SEM 和 TEM 有什么区别?
SEM 更适合表面形貌和微区元素,TEM 更适合透射观察纳米结构和晶格信息。
| 模块 | 可看内容 | 输出 | 样品关注点 |
|---|---|---|---|
| SEM/EDS | 表面形貌、断口、元素 | 图片、谱图、面分布 | 导电性、表面状态、目标区域 |
| FIB | 定点截面、层间结构 | 截面图和位置说明 | 目标位置和保护层需求 |
| TEM/STEM | 晶格、界面、纳米结构 | 高分辨图片、衍射或元素分布 | 薄片制备和样品稳定性 |
SEM 更适合表面形貌和微区元素,TEM 更适合透射观察纳米结构和晶格信息。
非导电样品可能需要导电处理,具体取决于观察目的和样品要求。
可根据样品定位信息和目标区域评估定点制样。
电子束需穿透样品,TEM 样品通常需要制备成足够薄的区域。
可以通过截面观察等方式评估薄膜或层间厚度。
可根据设备和样品状态提供 EDS 或相关元素分布数据。
可按项目需求交付图片、标尺、谱图和报告。
制样复杂度会影响周期和费用,需在方案阶段确认。
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